由于每一種元素的原子能級結構是特定的，躍遷時產生的特征X射線的能量也是固定的（兩軌道電子殼層的能量差），因此通過測定特征X射線的能量，便可以確定相應元素，而特征X射線的強弱則代表該元素的含量。基于以上原理，可以知道X射線熒光分析儀的核心結構為激發源和探測器，其中，激發源是激發元素產生特征X射線的構件，有帶電粒子激發、電磁輻射激發、內轉換現象和核衰變等方式，而常用的激發源是電磁輻射激發，便攜式X射線應力分析儀就屬于此類，采用的是微型X射線管；探測器是將X射線熒光的能量和強度轉化成一定形狀和數量的電脈沖，實質上就是一個能量→電量的傳感器，常用的探測器有正比計數器、閃爍計數器和半導體計數器，本便攜式X射線應力分析儀用的是半導體計數器（硅漂移探測器），能量分辨率優于前兩者。

    鑒于本便攜式X射線應力分析儀采用的是X射線激發，*的應該是使用過程中的安全問題，看到下面這個圖標沒？“CAUTION RADIATION”，這表明在工作過程中是有輻射的，但不要嚇慌，正確操作的話，不必擔心這個問題，輻射劑量在可控范圍。